过滤器采用高强度的楔形滤网，通过压差控制、定时控制自动清洗滤芯。当过滤器内杂质积聚在滤芯表面引起进出口压差增大到设定值，全自动过滤器设备，或定时器达到预置时间时，电动控制箱发出信号，驱动反冲洗机构。当反冲洗吸---与滤芯进口正对时，反冲洗全自动过滤器，排污阀打开，此时系统泄压排水，吸盘与滤芯内侧出现一个相对压力低于滤芯外侧水压的负压区，迫使部分净循环水从滤芯外侧流入滤芯内侧，吸附在滤芯内内壁上的杂质微粒随水流进穣盘内并从排污阀排出。
在国外项目中和国内新项目中，f8过滤器是非均匀流洁净室尤为常见的预过滤器。对于芯片厂100级，10级或更---级别的洁净厂房，全自动过滤器，预过滤器的常见的效率级别为h10，许多新项目索性选用hepa。在国内过去的洁净室空调系统设计中，过滤器常见配置为：粗效中效高有效。那时高有效过滤器的使用寿命仅为1--3年，尤其差的也就几个月。可见，预过滤器的效率的高低决定末端过滤器使用的寿命。
真空过滤器在容器外壳内充满悬浮液。两侧包有滤布的滤叶浸于悬浮液中，滤叶内腔与真空系统连通。滤液吸出后由导管引出，积在滤叶表面的滤渣在停机后清除。连续操作的真空过滤器适于过滤含固体颗粒较多的稠厚悬浮液。转鼓真空过滤器、内滤面转鼓真空过滤器、 圆盘真空过滤器和翻斗真空过滤器的工作原理均相似。整个过滤面分成多个隔开的过滤室，每个回转的过滤室通过分配阀与各固定管顺序接通，以吸出过滤室内的滤液、洗液，或送入压缩空气。
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